關於潔淨室氣流

關於潔淨室氣流

潔淨室的潔淨度往往受到氣流的影響，即人、機器隔間、建築結構等產生的塵埃的移動、擴散受到氣流的支配。一般潔淨室氣流的速度是選0.25-0.5m/s之間，此流速屬微風區域，易受人、機器等的動作乾擾而趨於混亂，為了使潔淨室的潔淨度處於達標狀態，保持潔淨室氣流的均一性就顯得尤為重要。

例：垂直層流式方向要保持均一氣流須做到：（a）吹出麵的風速不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一。一般無塵室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

應注意的是，一般操作台或生產設備等表麵的氣流分流點應設於無塵室空間與隔牆板間距2/3之處，這樣的話作業人員工作時，氣流可從製程區內部流向作業區，而將微塵帶走；如果分流點配置在製程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部分的氣流將流至製程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作台因而將受到汙染，良率也勢必降低。

此外，潔淨室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在這附近的潔淨度將會變差，我們可以在在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減低；另外組裝材料的選擇是否恰當、設備布局是否完善，也是氣流是否成為渦流現象的重要因素。

了解更多潔淨室氣流的知識可參照上海瑞宏檢測前期文章【潔淨室氣流流型的檢測目的和方法】。