萬級潔淨室的檢測標準有哪些?
萬級潔淨室的檢測標準有哪些?
一、萬級潔淨室的標準(按塵粒數目和微生物數目來定義的):
1.塵粒允許數(每立方米):大於或等於0.5微米的粒子數不得超過350000個;大於或等於5微米的粒子數不得超過2000個。
2.微生物允許數:浮遊菌數每立方米不得超過100個;沉降菌數每培養皿不得超過3個。
二、萬級潔淨室主要檢測標準包括:
1.氣流速度及其均勻度檢測。這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
2.係統或房間的風量檢測。
3.室內潔淨度的檢測。潔淨度的檢測是為了確定潔淨環境可達到的空氣潔淨度級彆,可采用粒子計數器檢測。
4.自淨時間的檢測。通過確定自淨時間,查明潔淨室內部發生汙染時恢複其原有潔淨度的能力。
5.氣流流型檢測。
6.噪聲的檢測。
7.照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔淨室的照度水平和照度的均勻性。
8.振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
9.溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度,檢測有代表性測點的空氣溫度,檢測無塵室中心點的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內空氣相對溫度,檢測回風溫度。
10.總風量和新風量的檢測。
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