百級潔淨室潔淨度要求
百級潔淨室潔淨度要求
百級潔淨室潔淨度要**把從汙染源散發出來的塵、菌汙染物在室內擴散作為前提,用經過高效過濾器處理的潔淨空氣將汙染物衝淡稀釋,從而保持室內所需的空氣潔淨度等級。
百級潔淨室潔淨度要求係指空氣環境中空氣所含塵埃量多少的程度。百級潔淨室潔淨度要求一般的情況下,是指單位體積的空氣中所含大於等於某一粒徑粒子的數量。百級潔淨室含塵量高則潔淨度低,含塵量低則潔淨度高。
百級潔淨室潔淨度等級用≥0.5μm粒子的製濃度來命名。例如,≥0.5μm粒子的允許濃度為100pc/ft3(約3520pc/m3)的潔淨室,其潔淨濃度稱為100級。我國1984年的《潔淨廠房設計規範》還沿用了英語製等級名稱—100級、1000級、1萬級、10萬級,目前工程中還在應用這種名稱。上述4個等級與GB50072-2001規範中的5、6、7、8級相接近。潔淨室的潔淨度等級值越小,級彆越高。同一等級的潔淨室,根據工藝要求可對其中1~2種粒徑的粒子濃度進行控製。例如,6級潔淨室可要求≥0.5μm的粒子濃度不大於35200pc/m3和≥5μm的粒子濃度不大於293pc/m3。
百級潔淨室潔淨度監測管理製度:
潔淨區的使用:
(1) 進入潔淨區的人員應定期進行微生物基礎知識、衛生知識、潔淨作業培訓;
(2) 人員進出潔淨區須按相應級彆的潔淨區進出標準操作規程進入潔淨區;
(3) 各車間的人員進出潔淨區標準操作規程中應明確進入潔淨區的人數限度並嚴格執行;
(4) 凡潔淨區使用的物料、器具等須按規定程序清潔。進入潔淨區的物品,要在區外清潔處理,經過傳遞窗進入區內;
(5) 潔淨區內空調宜連續進行。生產結束後,空調係統應繼續運行4小時後停止。係統重新再運行之前必須進行消du;
(6) 廢棄物應有專門的容器存放,每日及時清理,由傳遞窗送出窗外。
百級潔淨室潔淨區的監測:
(1) 為確保潔淨區的淨化環境和潔淨度,需對潔淨區定期監測;
(2) 發現下列情況,高效空氣過濾器應予更換;
a. 氣流速度≤0.25m/s,即使更換初效和中效空氣過濾後,氣流速度仍不能增大;
b. 高效空氣過濾器出現無法修補的滲漏。
百級潔淨室潔淨區的維護要求:
(1) 潔淨區應設置**門、應急燈及jiu精專用櫃等**措施;
(2) 潔淨區的管理要有記錄;
(3) 除了使用人員日常管理外,對潔淨區空調係統和潔淨區的空氣淨化設備一年大修一次,在生產期間如遇異常情況應及時檢修,大修後要驗證。
百級潔淨室潔淨度測試及方法測試
潔淨室的空氣潔淨度,應進行下列測試:
空態測試:潔淨室已竣工,淨化空氣調節係統已處於正常運行狀態,室內冇有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態測試:潔淨室淨化空氣調節係統已處於正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內冇有生產人員的情況下進行測試。
動態測試:潔淨室已處於正常生產狀態下進行測試。潔淨室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
百級潔淨室工作區空氣潔淨度的測試方法對於粒徑大於或等於0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法。對於粒徑大於或等於5微米的塵粒計數也可采用濾膜顯微鏡計數法。
潔淨室淨非單向流流型曾稱為亂流型(Turbulence Airflow),非單向流是一種不均勻氣流分布方式,其速度、方向在潔淨室內不同地點是不同的,這是潔淨室中使用為普遍的氣流組織形式。下圖所示為非單向流的氣流組織概。
因此, 非單向流潔淨室所需要的換氣次數將隨著要求的潔淨度和室內的汙染物擴散情況不同而差彆很大。
非單向流潔淨室的氣流組織形式依據高效過濾器及回風口的安裝方式不同而分為下列幾類:頂送、側下回;側送、側回;頂送、頂回。
這其中頂送、側下回的氣流組織形式是較為常用的形式。帶擴散孔板風口頂送、側下回的非單向流潔淨室,經高 效過濾器的潔淨空氣由擴散板送出,工作區氣流分布比較均勻,其空氣潔淨度明顯優於周圍,而周圍區域由於送風進入室內後不斷卷入室內汙染空氣,潔淨度較差;在相鄰送風口之間或潔淨室四角、沿邊等送風氣流不能覆蓋的部位潔淨度會更差些。
所以在布置頂送風口時,為使潔淨室內各處潔淨度儘可能的均勻,在總送風量一 定的條件下適當多設送風口或均勻布置送風口,儘可能地讓相鄰送風口氣流在工作區高度上銜接,確保工作區要求的潔淨度。
上海瑞宏檢測技術有限公司作為自主研發生產的生產廠家,可按百級潔淨車間標準要求及國家GMP規範要求為微電子、生物醫藥、醫院手術室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業提供全係列的檢測儀器和技術支持,如動態監測時所需的“潔淨環境在線監測係統”,靜態檢測時的“風量罩”“壓差儀”“塵埃粒子計數器”“浮遊菌采樣器”等。