高效過濾器檢漏方法彙總（二）

3.DOP粒子掃描正壓檢漏法

檢測人員須注意規範中要求的采樣時間、上遊粒子濃度等參數在實際應用中的可操作性。在參與某一製藥廠淨化車間高效過濾器的檢漏時，結合日本JIS-b-9927、美國Fedstd-209d標準，采用laskin DOP粒子發生器產生大星穩定的符合要求的微粒子，以造成上遊≥0.3um粒子濃度大於或等於1×105pc/L。在過濾器上遊通過壓縮空氣(冷發生）將DOР微粒均勻噴射在係統內，由於濃度一般大於1×105pc/L，超出檢測儀器測量範圍，所以在檢測儀器前串聯粒子濃度稀釋器，使被測濃度在檢測儀器測量範圍。

對出廠效率為99.97%的高效過濾器檢漏時，實測所得透過率應低於0.06%，即實測所得顆粒濃度小於0.06%C1 (C1為上遊濃度)。粒子發生器在過濾器上遊所發出的粒子濃度≥0.3um時為3.3×106pc/2.83l，對於不同風量係統，換算成下遊極限濃度，如某一設計風量為

15000m3/h淨化空調係統下遊極限濃度1960pc/2.83l。待粒子發生器所發生氣溶膠濃度穩定後，用粒子計數器對安裝好的高效過濾器進行檢漏試驗。粒子計數器必須同時對高效過濾器外框和內表麵分彆進行兩次掃描，過濾器上遊也必須對風管中的氣溶膠濃度進行兩次采樣測試，采樣和掃麵的周期必須相等，起止時間儘量要一致。

以規格為610×610高效過濾器為例，建議采用采樣周期為一分鐘，速率為50mm/s。檢漏前用高約500mm 的圍擋放在高效過濾器的四周，可以防止高效過濾器外框以外的氣流形成渦流，影響掃描測試的結果。過濾器的泄漏主要原因是外框密封圈的密封效果不好，或者濾料不夠平整嚴密。實際應用中安裝泄漏主要來自於外框，外框密封條的質量與泄漏有很大關係。因此，工程上檢漏時會在高效過濾器得四周加放圍擋，減小風口圍擋下部出口麵積時，圍擋內形成一定正壓，如果高效過濾器安裝泄漏，粒子會通過圍擋往外泄漏。這時粒子計數器可按50mm/s 左右的速度在高效過濾器下25mm 處掃描1分鐘，即可判斷過濾器是否泄漏，這就是“正壓檢漏法”。對於具有大量的高效過濾器風口的淨化車間來說，高效正壓檢漏法的測試效果與傳統的內外框掃描法相當，但效率提高了一倍。以一個有60個610×610mm高效過濾器風口的淨化空調係統為例，采用傳統的方法掃描至少一般要兩個小時，而采用正壓檢漏法快的話隻要一個小時，節省了一半以上的時間。

4.油霧法

測試原理:塵源為油霧，“量”為含油霧空氣的濁度，儀器為濁度計。以氣樣的濁度差來判定過濾器對油霧顆粒的過濾效率。德國規定用石臘油，油霧粒徑為0.3-0.5um。中國標準規定的油霧平均直徑為0.28-0.34um,對油的種類未做具體規定雖然中國標準規定可以用油霧法，但國內廠家更願意使用同一標準規格的另一種鈉焰法，隻有部分生產廠家在測量過濾材料時仍使用油霧法。

5.粒子計數器法

測試原理:將含塵氣流以很小的流速通過強光照明區,被測空氣中的塵粒依次通過時,每個塵粒將產生一次光散射,形成一個光脈衝信號,根據光脈衝信號幅度的大小與粒子表麵的大小成正比的關係,由光電倍增管測得粒子數及亮度,確定其過濾效率

6.PAO法

目的和原理:現場安裝完畢以後對高效過濾器進行檢漏是檢查高效過濾器及配套的靜壓箱是否有泄漏或泄漏是否在規範允許的範圍之內。如果高效過濾器裝置經檢漏是合格的，可以確保潔淨室的**可靠的運行，此時室內潔淨度仍未達標，應從潔淨室的其它方麵查找原因。

在被檢測高效過濾器上風側發PAO氣溶膠作為塵源，在下風側用光度計采樣檢測，含塵氣體經過光度計時產生的散射光經光電效應和線性放大轉換為電量，並由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室，由於粒子擴散引起燈光強度的差異，經測定這個光強度，光度計便可測得氣溶膠的相對濃度。

上海瑞宏檢測技術有限公司作為自主研發生產的潔淨檢測儀器廠家，已成功研發生產高效過濾檢漏裝置（氣溶膠發生器HPM-350），並可按10萬級和100萬級潔淨車間標準要求及國家GMP規範要求為微電子、生物醫藥、醫院手術室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業提供全係列的檢測儀器和技術支持，如動態監測時所需的“潔淨環境在線監測係統”，靜態檢測時的“風量罩”“壓差儀”“塵埃粒子計數器”“浮遊菌采樣器”等。