潔淨室懸浮粒子的測試方法

潔淨室懸浮粒子的測試方法

為了達到對懸浮粒子潔淨度的評定，在日常潔淨室環境中，懸浮粒子的測試是必不可少的。今天，宏瑞科技就“潔淨室懸浮粒子的測試方法”作了以下總結：

一、適用範圍：適用於潔淨區中懸浮粒子的監測和潔淨區等級的驗證

二、檢測儀器：光散射粒子計數器（上海瑞宏激光塵埃粒子計數器）

三、測試前準備：

1. 潔淨室的溫度就保持在18℃-26℃，相對濕度應控製在45%-65%之間

2. 風速或壓差的測試應符合要求

3. 靜態測試時，室內測試人員不得多於2人

4. 對單向流測試應在潔淨空氣調節係統正常運行時間不少於10min後開始

5. 對單向流測試應在潔淨空氣調節係統正常運行時間不少於30min後開始

6. 采樣點數目如下圖：

注：表中的麵積對於單向流潔淨室指的是送風麵積，對於非單向流潔淨室指的是房間麵積。

7. 采樣點的位置一般在離地麵0.8m高度的水平麵上均勻布置

8. 對任何小的潔淨室，采樣點的數目都不得少於2個，總采樣次數不得少於5次，每次zui小采樣量如下圖：

9. 布置的采樣點應避開回風口，采樣時測試人員應在采樣口的下風側

四：結果評定

判斷懸浮粒子潔淨度級彆應同時滿足以下兩個條件：

A：每個采樣點的平均懸浮粒子濃度應小於等於規定的級彆界限，即A_i≤級彆界限

B：全部采樣點的懸浮粒子濃度平均值均值的95%置信上限應小於等於規定的級彆界限，即UCL≤級彆界限

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