半導體潔淨室溫濕度監測的重要性
半導體潔淨室溫濕度監測的重要性
潔淨室是指對空氣潔淨度、溫度、濕度、壓差、噪聲等參數都需要進行控製的密閉空間。許多精密加工行業、半導體、芯片、醫學手術室、電子設備、航天、製藥、生物實驗室行業等都需要潔淨室。比如醫學行業主要是為了防止病jun、細jun、灰塵對病人手術過程中造成感染;溫濕度對於精密儀器儀表產品的**程度有很大影響。
半導體製造潔淨室對溫濕度的要求一般是溫度處於22-28℃ ,濕度在30-50 RH(%)之間。潔淨室運作過程中對相對濕度環境控製尤為常見。因為相對濕度會對潔淨室總體表現下降有較大影響,比如加速細jun繁殖;人體舒適感不佳,人的汗液可能汙染半導體產品;出現靜電荷;加快金屬fu蝕生鏽;水汽冷凝汙染半導體表麵的清潔度;光刻的退化;影響光刻膠附著能力等。
因此,對於半導體潔淨室的溫濕度控製尤為重要。現在的半導體潔淨室係統都會嚴格控製溫濕度、空氣潔淨度和壓差程度等,在室內安裝不同的溫濕度傳感器、壓差傳感器等,做到實時監測、實時控製。蘇州宏瑞淨化研發生產的溫濕度變送器傳感器、手持式溫濕度儀、壓差計等產品應用於各種生物實驗室、製藥車間、潔淨室的溫濕度監測。
不同的潔淨室對於溫濕度的要**不同的,主要是根據加工使用的產品本身的特性來考量。但是有一點,溫濕度不管在任何行業,作為一個環境因素發揮著重要的影響力。我們總是運用各種手段進行溫濕度數據監控,以便達到我們的理想狀態。
以上是上海瑞宏檢測技術有限公司關於關於電半導體潔淨室溫濕度監測的重要性的介紹,我司作為生產型企業,可按10萬級和100萬級等潔淨級彆的半導體車間標準要求及國家GMP規範要求為電子、生物醫藥、醫院手術室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業提供全係列的檢測儀器和技術支持,如實時監測時所需的“潔淨環境在線監測係統”,不定時檢測時的“風量罩”“壓差儀”“塵埃粒子計數器”“浮遊菌采樣器”等。