電子集成電路廠潔淨室的汙染源

現今不少電子高新科技領域對集成電路的需求量十分大，同時對大規模集成電路的設計生產、封裝環節要求越來越高。這也意味著對電子潔淨室的要求越來越高。那麼，在日常工作中，容易對電子集成電路廠潔淨室造成汙染的源頭有哪些呢？

一、電子集成電路廠潔淨室的汙染源--電磁噪聲
電子集成電路潔淨室是通過大電流氧化爐等設備的電纜和反複控製通斷的電磁開關，高頻振蕩等產生電磁噪聲的，電磁噪聲會影響電子束掃描設備的掃描精度，其影響程度與發生源的距離成反比。

二、電子集成電路廠潔淨室的汙染源--振動
潔淨室設備內的真空泵電機工作時會把振動經地板傳遞到微細加工設備和顯微鏡等精密設備儀器上，進而影響它們的工作精度。潔淨室應在振源和怕受振動的設備下安裝空氣彈簧減震器，以達到衰減振動的目的。

三、電子集成電路廠潔淨室的汙染源--生鏽
當潔淨室酸用通風罩局部排風量不足時，酸霧氣擴散於潔淨室內，腐蝕室內設備的金屬部分，造成汙染；潔淨室不鏽鋼裸露在含氯氣的空氣中，也會受腐蝕生鏽。處理酸的有效的方法是采用密閉通風罩，保證足夠的局部排風量。

電子集成電路廠潔淨室的汙染源除了上述幾點，還包括潔淨室器材和設備的搬出和大修施工時造成的汙染。這些汙染不隻是由於人的移動造成的，設備移動也會揚起已落在地板表麵和器材上的塵埃。尤其是更換設備時養護地板，搬進小工具或很多搬運工進出潔淨室，都會導致室內的懸浮塵埃量比平時多。

  對於電子集成電路廠潔淨室的汙染源你們還有什麼看法呢？